扫描电子显微镜-6万倍

分辨率（Resolution）

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~60,000x

加速电压（Accelerating Voltage）

1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6 step)

图像检测

（Signal Detection）`

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像  (BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

观察模式 Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统（Electron Gun）

灯丝类型（Filament type）

预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge）

偏压系统（Bias voltage system）

自动偏压方式（Automatic mode）

电子枪校正

（Electron gun alignment）

手动方式（Manual mode）

透镜构成（Lens system）

聚光镜（Focus Lens）

2段式磁线圈透镜

(2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物镜（Objective Lens）

1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens)

探测器类型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统( Stage System)

Auto or Mauanl

载物台移动（Stage Traverse）

3轴操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

Image shift

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

样品最大尺寸

（Max Sample size）

高度30mm时最大直径70mm，70mm in diameter, 30mm in height

图像扫描

（Image Scanning system）

快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920

图片模式3(Photo Mode 3): 5120x3840

自动功能

（Automatic Function）

自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)

图像存储格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示(Data display)

放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，

Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等

真空系统（Vacuum system）

全自动型/高真空模式 (Fully Automatic Multi mode)

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵）  Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空时间(pump down time)：2分钟以内

(less than 2 minutes)

操控系统(Control unit system)

鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)

PC：台式电脑（Desk Top）

软件（Software function）

图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function)

长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring)
设置数值初始化(parameter initialization)，图像拍摄模式转换(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模  式等

体积（ Volume）

设备主机（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set
外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

根据客户实际情况使用Anti vabration Table

重量 （Weight）

99kg

设备环境

（Equipment environment）

温度(Temperature)：15℃~30℃
湿度(Humidity)：70% or less

电源(Power source)：   Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

四、样品检测结果

我们使用实验室废弃的一颗不良品螺丝作为样品进行了实际测试,图片如下:

螺丝，放大47倍， 30 kV，SE探测器，高真空模式

螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式

螺牙部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式

螺纹牙底部分，放大500倍，10 kV，SE探测器，高真空模式

螺纹牙顶部分，放大500倍，10 kV，SE探测器，高真空模式

螺纹牙顶部分放大，1000倍，10 kV，SE探测器，高真空模式

其它测试图片：

陶瓷表面，放大5千倍，30 kV，SE探测器

电池正极材料，1万倍， 5 kV，SE探测器

浮游植物，放大8千倍，5 kV，SE探测器

珍珠粉，放大1千倍，5 kV，SE探测器

五、附件包（Accessories package）：

预对中钨灯丝

Pre Centered tungsten filament

5 pcs/box

载物台（Sample Stage）

15mm dia. (10 pcs)

25mm dia. (10 pcs)

15mm 45° Tilt (5 pcs)

15mm 90° Tilt (5pcs)

高度基准模块(Height standard master)

1ea

6角扳手(allen wrench)

1set

扫描电镜软件修复用CD

(SEM Software CD)

1ea

碳导电胶带(Carbon conductive tape)

1roll

剪刀(scissors)

1ea

洗耳球(aurilave)

1ea

镊子(tweezers)

1ea

工具箱(Tools Box)

1ea