扫描电子显微镜-15万倍

分辨率（Resolution）

5nm (30kV, SE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~150,000x

加速电压（Accelerating Voltage）

1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV)

图像检测（Signal Detection）

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(选配)

(BSEI)-Backscattered Electron Image(Option)

观察模式 Observation mode

Standard Mode

电子枪系统（Electron Gun）

灯丝类型（Filament type）

预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge）

偏压系统(Bias voltage system)

自动偏压方式（Automatic mode）

电子枪校正（Electron gun alignment）

手动方式（Manual mode）

透镜构成（Lens system）

聚光镜（Focus Lens）

2段式磁线圈透镜(2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物镜（Objective Lens）

1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens)

探测器类型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统( Stage System)

载物台移动

（Stage Traverse）

5轴操控5-axis System ， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°, Z : 0~22mm / Tilt-axis : 0~45°

Image shift

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

样品最大尺寸

（Max Sample size）

高度35mm时最大直径80mm，80mm in diameter, 35mm in height

图像扫描

（Image Scanning system）

快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1sec.)

低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30 sec.)

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60 sec.)

图片模式3 (Photo Mode 3): 5120x3840 (Scan time: 120 sec.)

自动功能

（Automatic Function）

自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)

图像存储格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示(Data display)

放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，

Date and time，Text marker，比例尺(scale bar)等

真空系统

（Vacuum system）

高真空模式(High Vacuum Mode)
（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min
（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec
抽真空时间(pump down time)：3分钟以内(less than 3minutes)

操控系统

(Control unit system)

鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)

PC：台式电脑（Desk Top）
OS : Microsoft Window 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version
Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB 2.0

软件Software function

图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function)
长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring)
设置数值初始化(parameter initialization)，图像拍摄模式转换(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等

体积 Volume

设备主机（Main Unit）-410(W)×350(D)×600(H)mm……1set

控制主机（controller）-410(W)×290(D)×520(H)mm……1set
外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

重量 Weight

95kg

设备环境Equipment environment

温度(Temperature)：15℃~30℃

湿度(Humidity)：70% or less

电源(Power source)：Single phase 220V AC, 1KW, 50/60Hz

四、附件包（Accessories package）：

预对中钨灯丝Pre Centered tungsten filament

5 pcs/box

载物台Sample Stage

15mm dia. (10 pcs)

25mm dia. (10 pcs)

15mm 45° Tilt (5 pcs)

15mm 90° Tilt (5pcs)

高度基准模块(Height standard master)

1ea

6角扳手(allen wrench)

1set

扫描电镜软件修复用CD(SEM Software CD)

1ea

碳导电胶带(Carbon conductive tape)

1roll

剪刀(scissors)

1ea

洗耳球(aurilave)

1ea

镊子(tweezers)

1ea

工具箱(Tools Box)

1ea