扫描电子显微镜

  • SS-60系列扫描电子显微镜
SS-60系列扫描电子显微镜

SS-60系列扫描电子显微镜

  • Product description: SS-60系列产品作为基础款台式扫描电镜,能满足大部分用户的基本实验需求,配置SE二次电子探测器与BSE背散射电子探测器,载物平台可配置三轴(X,Y,R)手动平台,也可升级为五轴(X,Y,R,Z,T)自动平台,全系列产品均可配置EDS能谱分析仪,
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简单说明:(Description)

1)最大放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000x)

2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE     Detector)

3)1kV~30kV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kVHigh                    image resolution)

4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)

(5)高真空配置(High Vacuum System)

(6Tilt(0~45)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))

三、 技术参数:(Product specifications)

分辨率(Resolution

 

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率(Magnification

30x~60,000x 

加速电压(Accelerating Voltage

1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6 step)

图像检测

Signal Detection)`

 

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像  (BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

观察模式 Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统(Electron Gun

灯丝类型(Filament type

预对中钨灯丝(Pre Centered tungsten filament Cartridge

偏压系统(Bias voltage system

自动偏压方式(Automatic mode

电子枪校正

Electron gun alignment

手动方式(Manual mode

透镜构成(Lens system)

聚光镜(Focus Lens)

2段式磁线圈透镜

 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物镜(Objective Lens)

1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens)

探测器类型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统( Stage System)

 Auto or Mauanl

载物台移动(Stage Traverse

3轴操控3 axis System, X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

Image shift

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

样品最大尺寸

(Max Sample size)

高度30mm时最大直径70mm,70mm in diameter, 30mm in height

图像扫描

(Image Scanning system)

快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920

图片模式3(Photo Mode 3): 5120x3840

自动功能

(Automatic Function)

自动启动(Auto start),自动聚焦(Auto focus),自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)

图像存储格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示(Data display)

放大倍率(Magnification),探测器类型(Detector type),电压(Accelerating Voltage),真空模式(Vacuum mode),Logo(Text),

Date and time,Text marker,比例尺(scale bar) 等

真空系统(Vacuum system

 全自动型/高真空模式 (Fully Automatic               Multi mode)

(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(涡轮式分子泵)  Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间(pump down time):2分钟以内

 (less than 2 minutes)

操控系统(Control unit system)

 鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)

 

PC:台式电脑(Desk Top)       

软件(Software function

 图像文件打开,编辑,存储功能(Image file open, edit, Save function)

 长度,面积,角度等测量功能(Length, area, angle measuring)
设置数值初始化(parameter initialization),图像拍摄模式转换(Image capture mode conversion),Archives, Setting(EDS)模  式等

体积( Volume

设备主机(Main Unit)-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set
外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

根据客户实际情况使用Anti vabration Table

重量 (Weight)

 99kg

设备环境

Equipment environment

 温度(Temperature):15℃~30℃
 湿度(Humidity):70% or less

 电源(Power source):   Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

 

四、样品检测结果

    我们使用实验室废弃的一颗不良品螺丝作为样品进行了实际测试,图片如下:

螺丝,放大47倍, 30 kVSE探测器,高真空模式

螺帽部分,放大100倍,10 kVSE探测器,高真空模式


螺牙部分,放大100倍,10 kVSE探测器,高真空模式


螺纹牙底部分,放大500倍,10 kVSE探测器,高真空模式


螺纹牙顶部分,放大500倍,10 kVSE探测器,高真空模式


螺纹牙顶部分放大,1000倍,10 kVSE探测器,高真空模式

 

其它测试图片:

陶瓷表面,放大5千倍,30 kVSE探测器


电池正极材料,1万倍, 5 kVSE探测器


浮游植物,放大8千倍,5 kVSE探测器  


珍珠粉,放大1千倍,5 kVSE探测器


五、附件包(Accessories package

 预对中钨灯丝

 Pre Centered tungsten filament

 5 pcs/box

载物台(Sample Stage)

 

 

 15mm dia. (10 pcs)

 25mm dia. (10 pcs)

 15mm 45° Tilt (5 pcs)

 15mm 90° Tilt (5pcs)

 高度基准模块(Height standard  master)

 1ea

6角扳手(allen wrench)

 1set

 扫描电镜软件修复用CD

 (SEM Software CD)

 1ea

 碳导电胶带(Carbon conductive  tape)

 1roll

剪刀(scissors)

 1ea

洗耳球(aurilave)

 1ea

镊子(tweezers)

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工具箱(Tools Box)

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